16:15 〜 16:30 [16p-A304-13] RFマグネトロンスパッタリング法によるCu3N薄膜の作製及びN2雰囲気アニールによるp型伝導の観測 〇中村 陽紀1、石川 博康1,2、藤中 将人1、片桐 翔1 (1.芝浦工大、2.グリーンエレクトロニクス国際研究研究センター)