09:30 〜 11:30 [17a-PB01-13] Ar/N2混合ガス中スパッタリングで堆積したSnOx薄膜におけるN2濃度の影響 〇(M1)川口 拓真1、渡辺 幸太郎1、永井 裕己1、山口 智広1、尾沼 猛儀1、本田 徹1、相川 慎也1 (1.工学院大工)