09:30 〜 11:30 [17a-PB01-15] Ar/H2雰囲気中でスパッタ成膜したSnO2薄膜の特性評価 〇小林 翔1、渡辺 幸太郎1、川口 拓真1、石田 哲也1、相川 慎也1 (1.工学院大)