16:00 〜 16:15 [15p-D419-6] NOC法で成長した無転位Si単結晶中の結晶欠陥分布とCOPの極低密度化 〇中嶋 一雄1、中西 正美2、Su Martin2、Hsu Chuck2 (1.東北大金研、2.グローバルウェハー)