保里亮平

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発表者・著者、共著者

2023年3月16日(木) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

09:30 〜 09:45

△ [16a-B410-3] 単結晶金微小カンチレバーの曲げ強度に対する断面積の影響

〇(M1)保里亮平¹、藤田一矢¹、Chun-Yi Chen¹、栗岡智行¹、Tso-Fu Mark Chang¹、Parthojit Chakraborty¹、町田克之¹、伊藤浩之¹、三宅美博¹、曽根正人¹ (1.東工大)