15:45 〜 16:00 [15p-D209-9] 反応性スパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の加熱による仕事関数低下量の評価 〇大住 知暉1,2、長尾 昌善2、後藤 康仁1 (1.京大院工、2.産総研)