13:30 〜 15:30 [15p-PB03-15] 酸化スズ薄膜の斜入射スパッタリング堆積における基板温度依存性 〇亀田 悠真1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大院工、2.関東学院大材料表面研)