11:00 〜 11:15 △ [17a-A303-5] In2O3系近赤外域透明導電性酸化膜を用いたInGaAs ショットキーフォトダイオードの評価 〇(DC)石井 寛仁1,2、大石 和明1,2、鯉田 崇2、清水 鉄司2、石井 裕之2、張 文馨2、遠藤 聡1、藤代 博記1、前田 辰郎1,2 (1.東理大、2.産総研)