12:15 〜 12:30 [16a-D519-13] O2-GCIBとアセチルアセトンによるSiNx膜原子層エッチングプロセスの反応機構の検討 〇竹内 雅耶1、藤原 怜輝1、山下 大晴1、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大工)