18:15 〜 18:30 [15p-A404-19] スパッタ法で作製したAlN薄膜の強誘電体特性評価 〇長谷川 浩太1,2、清水 荘雄2、大澤 健男2、坂口 勲1,2、大橋 直樹1,2,3 (1.九大院総理工、2.物材機構、3.東工大)