09:30 〜 11:30 [17a-PB01-22] イオン注入による酸化物TFTの閾値電圧制御 〇酒井 敏彦1、藤原 将喜1、東 大介1、安東 靖典1、松尾 大輔2、宇井 利昌2、安田 圭佑2、山根 裕也2、立道 潤一2 (1.日新電機、2.日新イオン機器)