菅野翔太

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発表者・著者、共著者

2023年3月16日(木) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

09:15 〜 09:30

△ [16a-B410-2] 金めっき微小ピラー構造体の微小圧縮試験におけるひずみ速度依存性とサンプルサイズ効果の解明

〇(B)菅野翔太¹、大村太郎¹、栗岡智行¹、Chun-Yi Chen¹、Parthojit Chakraborty¹、町田克之¹、伊藤浩之¹、三宅美博¹、曽根正人¹、Tso-Fu Mark Chang¹ (1.東工大)