15:45 〜 16:00 △ [16p-D511-10] PL法及びラマン分光法による3次元自己組織化多層SiGeナノドットの評価 〇伊藤 佑太1、横川 凌1,2、Wen Wei-Chen3、山本 裕司3、寿川 尚1、小椋 厚志1,2 (1.明治大理工、2.明大MREL、3.IHP)