13:00 〜 13:15 [15p-A301-1] SiC溶液成長法におけるパレート解に影響を与えるパラメータの考察 〇霜田 大貴1、沓掛 健太朗2,3、原田 俊太1,3、田川 美穂1,3、宇治原 徹1,3 (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大未来研)