2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

三河 巧

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座長等

2023年3月16日(木) 13:30 〜 18:30 E302 (12号館)

  • シンポジウム(口頭講演)
  • | シンポジウム
  • | 究極のラボ・オートメーション：半導体ギガFabを実験用巨大ロボットとして動かせるか？

[16p-E302-1~10] 究極のラボ・オートメーション：半導体ギガFabを実験用巨大ロボットとして動かせるか？

秋永 広幸(産総研)、青野 真士(Amoeba Energy)、三河 巧(SCREEN)