2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[A-24] パーク・システムズ・ジャパン(株)

パーク・システムズ・ジャパン(株)

【現地展示:PA(体育館2階)】
■原子間力顕微鏡
 
JSAP EXPO Spring 2023 ONLINE

オンラインでのお打合せをご希望の場合は、
プライベートメッセージにて担当者までご希望日時をご連絡ください。以下より入室していただけます。

打ち合わせはこちらから(Teams)

 
Park FX40
      
FX40は、最新の原子間力顕微鏡技術を搭載した革新的なプラットフォームです。高速かつ正確な真のノンコンタクト™モードにより、サブナノメートルスケールでのサンプルとプローブの距離制御を実現し、前例のない解像度で鮮明でクリアな画像を提供します。自動化されたプロセスと機械学習を組み合わせ、研究者は複雑なトレーニングなしで、より迅速かつ精密な科学的発見を実現できます。プローブ交換、プローブ情報読み取り、自動レーザーアライメント、サンプルカメラ、プローブ認識カメラなどの機能により、ユーザーは簡単かつ安全に操作でき、ジョブに最適なプローブを選ぶことができます。また、プローブとサンプルのクラッシュを防止するための安全なプローブのランディング機能により、サンプルとAFMの安全性が確保されます。FX40は、市場に出ているどのAFMよりも高速で正確な真のノンコンタクト™モードを提供し、最高水準の解像度と自動化された操作により、科学研究の進歩に貢献します。
https://www.parksystems.com/jp/products/small-sample-afm/fx-40
 

Park FX40

 
Park NX10
        
Park NX10は、最高のナノ解像度で信頼性の高いデータを生成し、繰り返し可能で出版できるデータを提供することで、革新的な研究を追求する研究者のための最短の道を提供します。サンプルの設定から全スキャン画像化、測定、分析まで、Park NX10はあらゆるステップで時間を節約し、より多くの時間とより良いデータを提供します。True Non-Contact™ Modeは、独自のスキャンモードで、AFMチップをサンプルに接触させないことで、高分解能で正確なデータを一貫して生成し、サンプルの完全性を維持します。低ノイズZ検出器による正確なAFM測定、容易なチップとサンプルの交換、高速かつ自動的なチップのサンプルアプローチ、そして直感的なレーザービームアラインメントが、Park NX10を使いやすく、迅速にすることで、より革新的な研究に集中することができます。
https://www.parksystems.com/jp/products/small-sample-afm/park-nx10/overview
 

Park NX10

 
Park SmartAnalysis™
       
Park SmartAnalysis™は、パークAFM用の強力な原子間力顕微鏡画像処理およびデータ解析ソフトウェアです。新しく追加された自動化機能や次世代機能により、ユーザーは素早くAFM取得画像および測定値を準備、解析、公開することができます。本ソフトウェアには、マルチレイヤーおよびライン機能を利用した正確な画像解析のための様々なツールが含まれており、同時かつ直感的な機能により、解析プロセスを加速します。EZフラットンによる画像処理は、正確な境界検出を行う深層学習システムを採用し、最適な画像を簡単に生成します。ユーザーは、高品質な2D、3D画像、ヒストグラム、領域統計解析を取得でき、3D画像の表面硬度と明るさ強度を制御し、3Dパラメータを呼び出すことができます。本ソフトウェアには、プリセット機能および特定のx-y-zプリセット位置ビューが用意されており、3Dラインプロファイルヒストグラム解析を可能にします。
https://www.parksystems.com/jp/products/operating-software/park-smartanalysis
 

Park SmartAnalysis™

 




 


 
Park NX7
    
Park NX7は、パーク・システムズの最先端技術を駆使したAFMであり、高性能モデルに劣らない精密設計を実現しつつも、経済的な価格帯を実現しています。このAFMは、正確なXYスキャンと多様なSPM測定モードを標準搭載しており、高精度で拡張性の高い測定が可能です。さらに、オープンサイドアクセスによる容易なサンプル/チップ交換や、Park SmartScanに代表される使いやすい操作ソフトウェアなど、ユーザビリティにも配慮されています。また、Park独自のフレクチャーベースによる独立したXYスキャナと、業界トップクラスの低ノイズZ検出器を搭載したZスキャナの設計により、比類ないデータ精度が実現されます。さらに、真のノンコンタクト™モードにより、ダメージレスな測定による高精度の形状測定を可能にし、柔らかいサンプルも傷つけることなく測定することができます。Park NX7は、時間とコストを節約しながらも最高品質の測定データを提供し、あらゆる研究や産業分野でのナノスケール測定において、ユーザのニーズに合わせた最適な測定ソリューションを提供します。
https://www.parksystems.com/jp/products/small-sample-afm/park-nx7/overview
Park NX7

 
Park NX20 Lite
     
Park NX20 Liteは、NX性能を備えたウェハー測定および解析のための最も手頃なAFMシステムです。マルチサンプルスキャンにより、複数のサンプルを自動撮影でき、最大16個のサンプルを読み込むマルチサンプルチャック(オプション)と、150mm x 150mmまで移動可能な完全にモーター化されたXYサンプルステージを備えています。正確なXYスキャンは、クロストーク除去による2つの独立したクローズドループXYおよびZフレキシャスキャナー、平面および直交XYスキャン、およびソフトウェア処理なしでの高さ測定を含みます。True Non-Contact™モードにより、最高品質の撮影が可能で、高速Zサーボスピードと最小限のチップ摩耗により、長期にわたり高精度の撮影が実現されます。オプションのアクセサリやアップグレードにより、包括的な測定モードや特性、高度な電気測定など、幅広い機能を提供しています。
https://www.parksystems.com/jp/products/large-sample-afm/park-nx20-lite/overview
Park NX20 Lite

 
Park NX20
     
FAエンジニアには、正確なデータ提供が求められます。半導体およびハードディスク業界では、Park NX20は世界で最も正確な大型サンプルAFMとして高い評価を受けています。Park NX20は、装置の故障原因を発見し、より創造的な解決策を開発するのに役立つ独自の機能を備えています。真の非接触モードスキャンにより、高精度データを提供し、先端をより長持ちさせ、時間とお金を節約することができます。また、業界で最も使いやすいデザインと自動化インタフェースを備えており、エンジニアの負担を軽減し、より洞察力のあるタイムリーな故障分析を提供することができます。NX20の革新的なアーキテクチャにより、サンプルの側面と表面を検出し、角度を測定することができます。表面粗さは、Park NX20が優れた性能を発揮し、正確な故障分析と品質保証を提供するための主要なアプリケーションの1つです。また、Park AFMは、幅広い帯域で0.02 nmのノイズを持つ最も効果的な低ノイズZ検出器を備えており、高度なサンプル特性の測定において時間を節約し、より正確なデータを提供します。
https://www.parksystems.com/jp/products/large-sample-afm/park-nx20/overview
Park NX20