2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[A-34] (株)フィジックステクノロジー

■ドイツ・SmarAct製 ①高精度性をもつピエゾでありながら長ストロークの駆動を実現する位置決めステージと、②ロングレンジでありながらピコメートル分解能の性能を持つレーザー干渉変位計「ピコスケール」をご紹介します。