■HIDEN ANALYTICAL社 大気圧プラズマ分析装置モデルHPR-60 ■プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計モデルEQP ■ラングミュアプローブモデルESPION ■コンパクト型二次イオン質量分析計モデルCompact SIMS ■自動昇温脱離ガス分析装置モデルTPD Workstation ■TPD ■TDS ■残留ガス ■トカマク用四重極質量分析計QMS ■イオンミリング用エンドポイントディテクター（終点検出器）モデルIMP-EPD、他