■卓上型サーマル式/プラズマ支援 原子層堆積装置：テーブルトップのALD装置。TiO2、SnO2などの酸化膜やTiN窒化膜Pt、Ruの金属の成膜可能。 ■簡易型熱・UVナノインプリント装置CNIツール：簡易型でデスクトップタイプの熱・UVインプリント装置。8”（インチ）までのモールドとインプリント材料投入が可能 ■ナノインプリント用レジスト・フォトレジスト： マイクロエレクトロニクス、半導体・電子デバイス、 MEMS用の高機能材料