■研究から生産までご使用いただける、信頼性の高いサムコ株式会社のプラズマプロセス装置をご紹介します。
・ICPエッチング装置 ・Si深掘り装置 ・CCP-RIE装置 ・卓上型コンパクトエッチャー ・プラズマ&熱ALD装置 ・プラズマCVD装置 ・Aqua Plasma・クリーナー ・プラズマクリーナー ・UVオゾンクリーナー