2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[B-37] 東ソー(株)

■パワー半導体、FEMT、発光素子に期待される高純度 GaNターゲット ■高抵抗、高安全性を実現可能な CrSiターゲット ■各種透明導電膜用ターゲット