2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[B-5] (株)エイチ・ティー・エル

■卓上型サーマル式/プラズマ支援 原子層堆積装置:テーブルトップのALD装置。TiO2、SnO2などの酸化膜やTiN窒化膜Pt、Ruの金属の成膜可能。 ■簡易型熱・UVナノインプリント装置CNIツール:簡易型でデスクトップタイプの熱・UVインプリント装置。8”(インチ)までのモールドとインプリント材料投入が可能 ■ナノインプリント用レジスト・フォトレジスト: マイクロエレクトロニクス、半導体...

[B-22] MI-6(株)

MI-6(株) MI-6はMI専業企業として200を超えるテーマの支援実績を持っています。 いま、素材産業においては「素材の高度化・複雑化」「開発サイクルの短縮」「国内外の開発競争激化」などにより、新たな素材開発スタイルへの変革が求められています。 このような状況の中、MI-6はMIによるデータドリブン型の素材開発を実現するための各種ソリューションを開発・提供しています。