2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[A-28] (株)パスカル

■真空成膜装置 ■真空コンポーネント ■表面分析装置 ■クラスターシステム(次世代型AI対応デジタルラボ 成膜・評価・最適化サイクルの自動化)

[A-34] (株)フィジックステクノロジー

■ドイツ・SmarAct製 ①高精度性をもつピエゾでありながら長ストロークの駆動を実現する位置決めステージと、②ロングレンジでありながらピコメートル分解能の性能を持つレーザー干渉変位計「ピコスケール」をご紹介します。

[A-2] フォームファクター(株)

■量子コンピューター用チップ、デバイスの極低温下での測定のトータルソリューションとして極低温冷凍機およびチップコンタクターを組み込んだチップスクリーニングおよびチップ評価システムをご紹介します。 また従来ワイヤーボンディングを行いチップを冷凍機にセットしておりましたが、フォームファクター独自のチップコンタクター技術により再利用可能でワイヤーボンディング不要なチップコンタクターPQ500をリリ...