2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A408-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 A408 (6号館)

一色 秀夫(電通大)、楢木野 宏(九大)

09:45 〜 10:00

[15a-A408-4] 大型熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド電子舌センサの作製と面内均一性評価

大曲 新矢1、中原 大哉1、森田 伸友1、竹村 謙信1、岩崎 渉1 (1.産総研センシング)

キーワード:電子舌、ダイヤモンド、ホウ素