[15a-A408-1~10] 6.2 Carbon-based thin films

[15a-A408-5] Fabrication of self-standing single crystal diamond with high miller indices surface from (100) bulk CVD diamond

〇Takehiro Shimaoka¹, Hideaki Yamada¹, Akiyoshi Chayahara¹ (1.AIST)

Keywords:diamond, chemical vapor deposition, self-standing films

（111）面や(113)面など、高次の面指数を持った面は不純物ドーピングの制御性に優れる一方、ダイヤモンドでは大口径化が容易でない。本研究では、(100)バルクCVD単結晶の加工による(111)単結晶基板作製を検証した。10mm × 10mm × 6mmtの(100)バルク単結晶切り出しにより7mm × 6mm の単結晶(111)基板、ダイレクトウエハ法によるクローン自立膜の作製に成功した。