[15a-A408-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A408-9] 共焦点ラマン分光法によるモザイク・ダイヤモンドとHFCVDダイヤモンド層の評価

〇田中 孝治¹、大曲 新矢¹、嶋岡 毅紘¹、梅沢 仁¹、山田 英明¹ (1.産総研)

キーワード：共焦点ラマン分光法、モザイク・ダイヤモンド、ホット・フィラメント

大面積化を図ってダイヤモンド単結晶基板を貼り合わせてたモザイク・ダイヤモンドに対して、W フィラメントを用いたHFCVDダイヤモンド層を成長させるにことによって転位密度を低減する手法が開発された。本研究は、HFCVD層中におけるWの振る舞いを解明し、高品質ダイヤモンド単結晶作製法の開発に寄与することを目的としている。今回は、コンフォーカル・ラマン分光法による解析結果を報告する。