[15a-A501-1~6] 3.10 フォトニック構造・現象（旧3.11）

[15a-A501-5] ２重スラブ1Dフォトニック結晶共振器キャリア引抜p-n EO変調器

タリ ロイス¹、〇倉持 栄一^1,2、北 翔太^1,2、野崎 謙悟^1,2、新家 昭彦^1,2 (1.ＮＴＴ物性基礎研、2.ＮＴＴ ＮＰＣ)

キーワード：フォトニック結晶、シリコンフォトニクス、光チップ

コンパクトなフットプリントで導波路とサイド結合させつつ、高速変調可能なEO変調器として、共振器内への垂直pn接合形成と電極コンタクトをとるためのダブルスラブ構造を特徴とするCMOS互換な１Dナノ共振器構造を提案する。有限要素法に3D電磁界デバイスシミュレーションを実施したところ、設計したデバイスは1V程度の小さなバイアス変調においてマイクロリング共振器EOMに劣らない波長シフトと挿入損失・消光比を示した。