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△ [15a-B401-7] 半極性面上InGaN系マイクロレンズ構造の広帯域発光に向けた作製条件の検討
キーワード：InGaN、半極性
最近我々は，傾斜角が連続的に変化するGaNマイクロレンズ構造上に形成したInGaN発光層が，In組成分布によって多波長発光特性を示すことを報告した．さらに，この構造を半極性(-1-12-2)面上に作製したが，その波長域は紫色領域にとどまっていた．本研究では，(-1-12-2)面InGaN系マイクロレンズ構造の長波長化と広帯域化を目的に，レンズ形状と結晶成長条件を検討したので報告する．