[15a-D209-1~5] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[15a-D209-3] Submicron patterning of titania by nano-Rheology printing

〇Daisuke Hirose¹, Hiroki Yamada², Koji Ohara², Jochi Tseng², Yuzuru Takamura¹ (1.JAIST, 2.JASRI)

Keywords:nano-Rheology printing, solution process, titania

ナノレオロジープリンティング(n-RP)は熱ナノインプリントによって、酸化物ゲルにパターンを直接転写するプロセスである。これまでチタニアの精度の良いパターニングは達成できていなかった。本研究ではプリンタブルチタニアゲルを創製し、チタニアのサブミクロンサイズのパターンを、n-RPによって作製した。高エネルギーＸ線回折、熱分析及びＦＴ－ＩＲにより、チタニアゲルの構造解析を行い、どのような要因がプリンタブル性に重要なるかを調べた。