[15a-D209-1~5] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[15a-D209-3] ナノレオロジープリンティングによるチタニアのサブミクロンパターン作製

〇廣瀬 大亮¹、山田 大貴²、尾原 幸治²、Tseng Jochi²、高村 禅¹ (1.北陸先端大、2.高輝度光科学研)

キーワード：ナノレオロジープリンティング、液体プロセス、チタニア

ナノレオロジープリンティング(n-RP)は熱ナノインプリントによって、酸化物ゲルにパターンを直接転写するプロセスである。これまでチタニアの精度の良いパターニングは達成できていなかった。本研究ではプリンタブルチタニアゲルを創製し、チタニアのサブミクロンサイズのパターンを、n-RPによって作製した。高エネルギーＸ線回折、熱分析及びＦＴ－ＩＲにより、チタニアゲルの構造解析を行い、どのような要因がプリンタブル性に重要なるかを調べた。