9:30 AM - 9:45 AM
[15a-D215-3] Electromechanical coupling properties of wurtzite MgO-ZnO films
Keywords:Polarization reversal, Electromechanical coupling coefficient, Oxide semiconductor
AlN窒化物合金薄膜の電気機械結合係数はSc添加により飛躍的に向上するため、現在スマートフォンのBAWフィルタに実用化されている。一方で、近年発見されたSc添加AlN薄膜の強誘電性は、強誘電体材料の設計方針に新たな示唆を与えている。本研究では、窒化物以外のMg添加ZnO酸化物合金材料を注目し、その電気機械結合係数の増幅を実験的・理論的に検討した。さらにScAlNと比較し、その分極反転特性の違いについても議論する。