[15a-D215-1~9] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[15a-D215-3] Electromechanical coupling properties of wurtzite MgO-ZnO films

〇Junjun Jia¹, Daiki Kishi², Takahiko Yanagitani² (1.GCSE, Waseda Univ., 2.ASE, Waseda Univ.)

Keywords:Polarization reversal, Electromechanical coupling coefficient, Oxide semiconductor

AlN窒化物合金薄膜の電気機械結合係数はSc添加により飛躍的に向上するため、現在スマートフォンのBAWフィルタに実用化されている。一方で、近年発見されたSc添加AlN薄膜の強誘電性は、強誘電体材料の設計方針に新たな示唆を与えている。本研究では、窒化物以外のMg添加ZnO酸化物合金材料を注目し、その電気機械結合係数の増幅を実験的・理論的に検討した。さらにScAlNと比較し、その分極反転特性の違いについても議論する。