[15a-D215-1~9] 9.1 誘電材料・誘電体

[15a-D215-3] MgZnO複合酸化物薄膜の電気機械結合特性

〇賈 軍軍¹、岸 大貴²、柳谷 隆彦² (1.早大国際理工学センター、2.早大先進理工)

キーワード：分極反転、電気機械結合係数、酸化物半導体材料

AlN窒化物合金薄膜の電気機械結合係数はSc添加により飛躍的に向上するため、現在スマートフォンのBAWフィルタに実用化されている。一方で、近年発見されたSc添加AlN薄膜の強誘電性は、強誘電体材料の設計方針に新たな示唆を与えている。本研究では、窒化物以外のMg添加ZnO酸化物合金材料を注目し、その電気機械結合係数の増幅を実験的・理論的に検討した。さらにScAlNと比較し、その分極反転特性の違いについても議論する。