[15a-D511-1~11] 15.7 Crystal characterization, impurities and crystal defects

[15a-D511-7] Matching of SiO₂ crystal structures to a Si crystal

〇Eiji Kamiyama^1,2, Koji Sueoka² (1.GlobalWafers Japan Co., Ltd., 2.Okayama Pref. Univ.)

Keywords:silicon, SiO2, crystal structure

SiO₂は，Si結晶と親和性の高い材料で， Si系MOSデバイスのゲート絶縁膜として，また，デバイスで使用される多様な金属に対する有効なゲッタリング源となるSiウェーハ中の微小酸素析出物として，広く用いられている．これらのSiO₂は，アモルファス構造とされ，結晶周期性を有さないものとみなされているが，いずれもSi結晶を酸化することで得られるものであることから，かつてSi結晶であったことの何等かの履歴を有するという推測も成り立つ．そこで，本講演では，Si結晶と既知のSiO₂結晶の整合性について論ずる．