[15a-E102-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [15a-E102-9] 反応性イオンエッチングを行ったZnO表面の時間分解フォトルミネッセンス及びX線光電子分光評価

〇粕谷 拓生¹、嶋 紘平¹、秩父 重英¹ (1.東北大多元研)

キーワード：酸化亜鉛、時間分解フォトルミネッセンス、反応性イオンエッチング

2022年秋の講演会では、ZnOウエハに化学機械研磨を行うことにより、高濃度の非輻射再結合欠陥が導入されることを報告した。本講演では、薄膜化の際に導入される欠陥濃度を低減できる手法の探索を目的として、反応性イオンエッチングを行ったZnOウエハの時間分解フォトルミネッセンス及びX線光電子分光測定を行った結果を報告する。