[15a-PA01-1~56] 17 ナノカーボン（ポスター）

[15a-PA01-30] 櫛歯電極導入によるグラフェン素子電気特性の改善

〇須田 章一¹、乗松 正明¹、片岡 真紗子¹、阿曽 広之¹、林 賢二郎¹、近藤 大雄¹、佐藤 信太郎¹ (1.富士通)

キーワード：グラフェン、コンタクト、櫛歯

グラフェン素子応用において、グラフェンと接する電極を櫛歯形状に抜き部分を形成することにより、電流が集中するエッジ長さが増加し実効的コンタクト抵抗を低減させることが期待できる。従来の電極構造と櫛歯構造をSPICEモデルにより比較したところ、単位面積当たりの抵抗が半減する効果が得られることが示唆された。この結果を受け、電極を櫛歯形状にしたグラフェン素子を作製し、櫛歯電極の形状と移動度の依存性を検証した。