[15a-PA01-1~56] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[15a-PA01-31] Effect of electron beam irradiation on graphene with its electrical properties

Masaaki Norimatsu¹, Masako Kataoka¹, Hiroyuki Aso¹, Shoichi Suda¹, Kenjiro Hayashi¹, 〇Daiyu Kondo¹, Shintaro Sato¹ (1.Fujitsu)

Keywords:graphene, electron beam irradiation, electrical property

本発表では、電子線照射のグラフェン素子への悪影響を抑えることを目的に、単層グラフェン素子への電子線照射の効果を電気特性により評価したので詳細を報告する。