9:30 AM - 11:30 AM
[15a-PA01-31] Effect of electron beam irradiation on graphene with its electrical properties
Keywords:graphene, electron beam irradiation, electrical property
本発表では、電子線照射のグラフェン素子への悪影響を抑えることを目的に、単層グラフェン素子への電子線照射の効果を電気特性により評価したので詳細を報告する。