[15a-PA01-1~56] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[15a-PA01-33] Novel graphene transfer process without resist films

〇Hiroyuki Aso¹, Naoki Fushimi¹, Shoichi Suda¹, Kenjiro Hayashi¹, Daiyu Kondo¹, Shintaro Sato¹ (1.Fujitsu)

Keywords:graphene, transfer process, resist free

CVD法により合成したグラフェンをデバイス化する際、レジストとして知られているPMMAをグラフェンの保護膜として塗布することが多い。一方で、転写したグラフェン上に PMMAが除去できずに残渣として残り、グラフェンの電気特性に悪影響を及ぼすことが知られている。本発表では、レジストの影響を最小限に抑えるため、多層グラフェンのレジストフリー転写方法の開発を行ったので詳細を報告する。