9:30 AM - 11:30 AM
[15a-PA01-33] Novel graphene transfer process without resist films
Keywords:graphene, transfer process, resist free
CVD法により合成したグラフェンをデバイス化する際、レジストとして知られているPMMAをグラフェンの保護膜として塗布することが多い。一方で、転写したグラフェン上に PMMAが除去できずに残渣として残り、グラフェンの電気特性に悪影響を及ぼすことが知られている。本発表では、レジストの影響を最小限に抑えるため、多層グラフェンのレジストフリー転写方法の開発を行ったので詳細を報告する。