The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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17 Nanocarbon Technology » 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[15a-PA01-1~56] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

Wed. Mar 15, 2023 9:30 AM - 11:30 AM PA01 (Poster)

9:30 AM - 11:30 AM

[15a-PA01-43] Vapor phase chemical etching of silicon assisted by MoS2 nanosheets

〇(M1)Kaichi Yamamoto1, Wataru Kubota1, Toru Utsunomiya1, Takashi Ichii1, Hiroyuki Sugimura1 (1.Kyoto Univ.)

Keywords:silicon, molybdenum disulfide, assisted chemical etching

シリコン表面加工法の一つとして,貴金属や炭素材料を触媒とするアシストエッチングが注目されている.当研究室では二次元炭素材料の酸化グラフェンを触媒としたアシストエッチングを報告してきた.本研究では新たな触媒材料探索とアシストエッチングの反応機構解明を目的として,代表的な層状遷移金属ダイカルコゲナイドであるMoS2のナノシートを用いたアシストエッチングを行った.

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