[15a-PA01-1~56] 17 ナノカーボン（ポスター）

[15a-PA01-6] CNTネットワークの配向性制御CNTネットワークの配向性制御

〇福田 紀香¹、殿内 規之^1,2、澁谷 泰蔵^1,2、田中 朋^1,2、宮崎 孝^1,2、宮本 俊江^1,2、金折 恵²、弓削 亮太^1,2 (1.日本電気、2.産総研)

キーワード：カーボンナノチューブ

我々は、CNTネットワークの大きな抵抗温度係数(TCR)に着目し、非冷却型赤外ボロメータへの応用を目指している。非冷却型ボロメータの検出能は抵抗体のTCRに線形に依存することが知られている。また、ノイズ抑制および画像化のためには抵抗体の抵抗値、ならびに抵抗値ばらつきは小さいことが望ましい。特性向上のためには、TCRが増大し抵抗値は減少するようなCNTネットワーク構造の最適化が必要である。 今回、CNTネットワーク構造の最適化に向け、ネットワーク形成プロセスの開発、及び電気特性評価を行い、未知であった抵抗値ならびにTCRのネットワーク構造依存性について調査を行った。プロセス条件の詳細検討の結果、我々は配向性を制御することに成功している。当日、配向度を制御するプロセスの詳細、配向度を変えた複数素子の電気測定結果ならびにTCRについて報告する。