[15a-PB01-1~7] 3.4 レーザー装置・材料（旧3.5）

[15a-PB01-6] レーザードップラー振動計による光学素子レーザー損傷検出の検討

〇秋吉 諒一¹、三上 勝大¹、宮坂 泰弘² (1.近大生物理工、2.量研関西研)

キーワード：レーザー、レーザー損傷、損傷検出

レーザー損傷の有無を定量的かつ自動で判断するために、損傷過程で起こるプラズマ発光や光学特性の損失に由来して生じる、レーザー誘起弾性波の振動をレーザードップラー振動計により検出した。従来、実施されている顕微鏡による損傷観察と比較し、本手法によりレーザー損傷の評価が可能であるか検討を行ったので報告する。