2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

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[15p-A205-1~12] 低次元材料のデバイス応用の最新動向

2023年3月15日(水) 13:30 〜 18:05 A205 (6号館)

長汐 晃輔(東大)、大野 雄高(名大)

15:10 〜 15:25

[15p-A205-5] CVD成長した数層h-BN膜の磁気トンネル接合素子への応用

楠瀬 宏規1、深町 悟2、河原 憲治2、堺 研一郎3、木村 崇4、日比野 浩樹5、吾郷 浩樹1,2 (1.九大院総理工、2.九大GIC、3.久留米高専、4.九大院理、5.関学大工)

キーワード:h-BN、トンネル接合素子、MRAM

我々はCVD合成により高品質かつ大面積の数層hBNを合成した。得られた数層hBNを用いて、トンネル磁気接合(MTJ)素子を作製し、TMR測定を実施した。その結果、数%から15%のMR比の測定に成功したので報告する。