[15p-A301-1~13] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-A301-1] SiC溶液成長法におけるパレート解に影響を与えるパラメータの考察

〇霜田 大貴¹、沓掛 健太朗^2,3、原田 俊太^1,3、田川 美穂^1,3、宇治原 徹^1,3 (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大未来研)

キーワード：SiC、最適化、結晶成長