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[15p-A401-17] ペロブスカイト太陽電池の材料自動成膜システムの開発
キーワード:ペロブスカイト太陽電池、自動化
再現性良くペロブスカイト太陽電池を作製することを目的とし、ロボットを活用してペロブスカイト層の成膜を自動化させるシステムを開発した。このシステムを用いることで、ペロブスカイト層成膜時のアンチソルベント法を含む一連の成膜作業を自動化させた。本システムによりペロブスカイト層成膜時のヒューマンファクターを除去し、性能のばらつきが小さいデバイスを作製することが可能となった。