[15p-A401-1~17] 12.5 Organic and hybrid solar cells

[15p-A401-17] Development of Automated Material Fabrication System for Perovskite Solar Cells

〇Naoto Eguchi¹, Kohei Yamamoto¹, Takurou Murakami¹ (1.AIST)

Keywords:Perovskite Solar Cells, Automation

再現性良くペロブスカイト太陽電池を作製することを目的とし、ロボットを活用してペロブスカイト層の成膜を自動化させるシステムを開発した。このシステムを用いることで、ペロブスカイト層成膜時のアンチソルベント法を含む一連の成膜作業を自動化させた。本システムによりペロブスカイト層成膜時のヒューマンファクターを除去し、性能のばらつきが小さいデバイスを作製することが可能となった。