[15p-A408-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-A408-1] 超高圧水素加圧処理によるDLC膜の構造変化

〇安井 晃美¹、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大)

キーワード：DLC膜、超高圧水素処理