[15p-A410-1~11] 【一般公開】ナノテクノロジーを駆使したウイルス検出最前線 -ヒト感染性ウイルスを迅速に検出可能なグラフェンFETセンサーによるパンデミックのない社会の実現 -

[15p-A410-6] 社会実装に向けたロバストなグラフェンFETバイオセンサの開発

〇牛場 翔太¹、宮川 成人¹、品川 歩¹、中野 友美¹、小野 尭生^2,3、金井 康^2,4、谷 晋輔¹、木村 雅彦¹、松本 和彦² (1.村田製作所、2.阪大産研、3.JSTさきがけ、4.阪大OTRI)

キーワード：グラフェンFET、バイオセンサ

単層グラフェンFETバイオセンサは、構成する全ての原子が表面と接しているため、表面の電荷変化に対し、鋭敏に応答することが期待される。さらに、単層グラフェンのCVD合成により、機械剥離グラフェンでは困難であったグラフェンFET (G-FET) アレイの作製が可能となった。しかし、グラフェンFETはプロセス過程で容易に剥離・汚染が生じるため、均質な特性を担保しつつ量産することは難しい。これまで我々はグラフェンFETバイオセンサの社会実装を目指し、様々な取り組みを進めてきた。例えば、深層学習を用いてG-FETの光学顕微鏡画像をグラフェン・電極・基板・汚れに分類し、良品・不良品を大規模かつ高速に鑑別するスクリーニング方法を確立した。また、グラフェンと基板の界面を制御し、溶液中で安定に動作するグラフェンFETバイオセンサの構造を見出した。本講演では、我々の最近の取り組みについて報告する。