[15p-A502-1~18] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

[15p-A502-17] 異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマジェットによるシリコンの表面状態の観測

〇日原 弘喜¹、山内 素明¹、沖野 晃俊^1,2、西山 伸彦^1,2,3 (1.東工大工、2.東工大科学技術創成研、3.研究組合光電子融合基盤技研)

キーワード：異種材料集積、大気圧プラズマ